红外线传输系统

这是一套全面的镜头及照明系统，利用红外线穿透Si、GaAS或Ge基板，并在其背部确认图样。

双镜头双放大倍率/ 双镜头双焦点光学系统

节约空间的光学系统: 透过特别的菱镜结构，同时观察同一光路上的两个焦点及光学放大倍率。

激光光学系统

节约空间的光学系统，利用CCD检定同一光路上的YAG激光焊合并进行组装。

上下双重视光学系统
  (1 CCD方式) (2 CCD方式)

节约空间的光学系统，将两件相向的对象以高精度结合一起。